5 月 16 日消息,中国科学院宣布,上海微系统与信息技术研究所研究员武震宇、助理研究员王栎皓团队,开发了一种高性能的 10 毫米大口径压电 MEMS(微机电系统)快反镜。
这种产品能够实现更精确的激光光束闭环控制,可满足激光星间链路对高精度、快速响应与稳定性的需求,为卫星通信终端提供小型化高性能解决方案。
快反镜在卫星激光通信中承担着光束指向、捕获和跟踪等重要作用,具备高指向精度、高工作带宽和高光学质量等一系列极限性能指标。
据介绍,研究团队在前期研究基础上开发了一种 10 毫米大口径压电驱动 MEMS 快反镜。该设计采用双层异构集成技术以及晶圆级键合工艺,器件具备高线性度超高角度分辨率、快速阶跃响应以及高重复定位精度。
在结构设计方面,研究团队创新性引入力学定向结构形成应力集中区域,显著优化了光束控制的精确性。
在性能表征方面,研究团队首次针对 10 毫米大口径镜面动态变形进行表征,在准静态驱动下最大动态表面形变仅 2 纳米,满足远距离卫星激光通信对镜面面型的严苛要求。
研究团队表示,与传统机械快反镜及现有商用 MEMS 快反镜相比,该器件优势显著,在航空航天领域具有重要的应用前景,未来将继续针对镜面尺寸、闭环控制以及器件可靠性进行优化研究。
审核编辑 黄宇
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